TechShape.ru

Информационные технологии

Основные разделы

Подготовка поверхности и выбор подложки к эпитаксии.

Описанный метод наиболее применим для монокристаллических подложек, используемых при гетероэпитаксиальном наращивании плёнок.

Сравнение очистки парами ряда растворителей и ультразвуковой очистки в изопропиловом спирте было проведено Putner [41]. Хотя очисткой в парах изопропилового спирта он и получил самые чистые поверхности, всё же ультразвуковое низкочастотное возбуждение оказалось наиболее эффективным для удаления таких крупных загрязнений, как частицы различных материалов и отпечатки пальцев. Обсуждая эти результаты, Holland [42] предположил, что решающим фактором является более высокая температура растворителя и подложки, достигаемая при очистке в парах.

Были подобраны специальные составы для полирующего травления силленитовых подложек [43]: конц. HCl : глицерин = 10 : 1.

Перейти на страницу: 1 2 

Еще статьи

Разработка автоматизированной системы оперативного управления гарнизона пожарной охраны
Исходные данные · гарнизон пожарной охраны имеет ЦУСС и NПЧ = 8 пожарных частей; · максимальное удаление ПЧ от ЦУСС d= 13 км; · параметр рельефа местности ∆h = 90 м; · превышение допустимого уровня мешающего сигнала ∆Eдоп = 4 дБ; · ...

Все права защищены! 2022 - www.techshape.ru